沉积系统及方法.pdfVIP

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2023-06-24 发布于四川
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沉积系统及方法.pdf

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本申请涉及一种沉积系统及方法。在本申请的一个实施例中，沉积系统包括：工艺腔；喷淋头，其位于所述工艺腔内；以及气箱，其通过气体管道连接到所述喷淋头且包括切换装置；其中所述气箱包含第一源气体和第二源气体，所述切换装置可操作以在所述工艺腔中执行第一沉积工艺期间将所述第一源气体提供至所述气体管道，并在所述工艺腔中执行第二沉积工艺期间将所述第二源气体提供至所述气体管道，所述第二沉积工艺与所述第一沉积工艺不同。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288261 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202111511883.9 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人拓荆科技股份有限公司地址 11