原创力文档- 1
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- 2023-06-24 发布于四川
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一种设备包括：卡盘，其具有被配置为支撑基板的上表面；固定单元，其被配置为产生用于将基板沿第一垂直方向固定到卡盘的夹持力并将夹持力施加到基板；以及控制器，其被配置为基于与当将基板固定到卡盘的上表面时重叠恶化的程度相对应的参考重叠分布，来在垂直于第一方向的平面上将卡盘划分为多个区域，并且独立地控制施加到多个区域中的每一个的夹持力的相应大小。控制器被配置为减小施加到多个区域中的包括具有参考重叠分布中的高重叠恶化的程度的区的区域的夹持力的大小。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116313974 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202211632203.3
(22)申请日 2022.12.19
(30)优先权数据
10-2021-0182532
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