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本发明涉及一种大口径平面反射镜的面形误差分离装置，包括：干涉仪、光阑、折转镜、主镜、次镜和平面反射镜，出射标准球面波的干涉仪置于扩束光学系统的焦面位置后方，使出射的球面波通过光阑汇聚于扩束系统的焦面既定点位上；出射球面波经过扩束系统中的折转镜折转90°，从扩束系统主镜的中心孔穿过；经扩束系统的次镜和主镜反射后，扩束后为平面镜等口径的平行光，照射至平面反射镜上；光线经过平面反射镜反射，携带平面镜的面形信息返回至干涉仪，得到包含扩束系统波前和平面镜面形信息的测试结果。本发明有效分离测试装置的失调量误
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116294982 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202211731437.3 G01B 11/24 (2006.01)
(22)申请日 2022.12.
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