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本发明涉及一种双面水冷负压夹具，包括夹具和被测试器件，被测试器件夹持在夹具内，夹具包括夹具座、探针座、水接头，夹具座包括上夹具座、下夹具座，器件托板位于上夹具座和下夹具座之间，上夹具座和下夹具座分别具有水冷通道，探针座包括前探针座和后探针座，前探针座安装在夹具座的前端，后探针座安装在夹具座的后端，负压水接头分别与上夹具座、下夹具座内的水冷通道连接，所述负压水接头连接外部负压水冷设备。该夹具导热控温好，采用双面双面冷却的方式提高冷却效率，测温传感器安装在导热板中心，直接接触器件壳体高温点，保证所测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116298406 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310059285.5 G01R 31/00 (2006.01)
(22)申请日 2023.01.
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