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- 2023-06-25 发布于四川
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本发明提供了一种自旋过滤隧道结,其制备方法、应用及传感器。由于A型反铁磁体本身的各向异性导致不同磁电阻随着磁场变化行为,也为基于此的隧穿磁电阻传感器提供了额外的功能。本发明旨在利用自旋过滤隧道结代替经典的隧道结,在极大地简化隧穿磁电阻(TMR)传感器的制备工艺的同时,也利用A型反铁磁体的各向异性为隧穿磁电阻传感器设计增加自由度,从而实现工艺更简便、功能更多的隧穿磁电阻传感器。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116299091 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310261106.6
(22)申请日 2023.03.17
(71)申请人 中国科学院物理研究所
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