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本发明公开了一种基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置及应用方法，本发明的测量装置包括光束生成单元、第一分光棱镜、第一显微物镜、第二显微物镜、光束反射单元、图像采集单元、样品调整台、被测件和微球透镜，光束反射单元包括遮光板，在遮光板遮挡光束反射单元的状态下，采集被测件的目标区域表面反射的激光以实现对被测件的横向二维超分辨成像；在遮光板未遮挡光束反射单元的状态下，采集被测件的目标区域表面反射的激光与反射单元的反射光干涉以实现对被测件的目标区域的三维形貌测量。本发明将激光光镊技术引进微球透镜超分辨
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116295102 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310223374.9
(22)申请日 2023.03.09
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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