真空蒸镀机架总成.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.59千字
约 9页
2023-06-25 发布于四川
举报
版权申诉

真空蒸镀机架总成.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是真空蒸镀机架总成，包括壳体、蒸发源和底托，蒸发源设置于壳体底部，底托设置于蒸发源正上方，镀膜架，设置于底托上方，所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔；夹持组件，设置有多组，均匀分布于放置孔侧壁，对放置孔内的基片进行夹持。本发明设置有翻转组件，能够对镀膜架进行翻转，从而在不停止机器的前提下将放置在放置孔内的基材进行翻面，实现双面镀膜；同时设置有夹持组件，能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定，保证基片在翻转时不会掉落；利用机器内部的本身的高温配合气体遇

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288169 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310124434.1 (22)申请日 2023.02.16 (71)申请人铜陵市超越电子股份有限公司地址