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本发明提供了一种在线验孔的激光钻孔设备，属于激光精加工领域，设备包括激光加工头组件、光学验孔组件、吹气除尘组件和吸气除尘组件；光学验孔组件设置在激光加工头组件的一侧，用于对下方加工的微孔实时采集图像进行在线验孔；吹气除尘组件的吹气口邻近的设置在光学验孔组件和/或激光加工头组件下方，斜向下或垂直于加工光路和/或验孔光路布置，以此形成气屏或气障，避免杂尘进入验孔光路或加工光路的视野内；吸气除尘组件设置在激光加工头组件下方外周，用于吸取周围杂尘；本设备集成了吸尘和除尘，保证了验孔成像和加工视场内的环境
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116275605 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310131153.9
(22)申请日 2023.02.17
(71)申请人 苏州天准科技股份有限公司
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