一种光学谐振器温度传感器.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种光学谐振器温度传感器.pdf

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本发明提出了一种光学谐振器温度传感器，包括基底、直波导及跑道谐振腔；直波导设置在基底上；跑道谐振腔设置在基底上并位于直波导轴向的其中一侧；跑道谐振腔与直波导之间留有间隔，跑道谐振腔包括直跑道及半圆跑道，两条直跑道及两条半圆跑道围成环形的跑道谐振腔，两条直跑道均与直波导的轴向平行设置；利用环形谐振器原理，在微环部分增加了一段直波导作为跑道，以此来更好地控制直波导与微环间的耦合，使谐振器具有高阈值高稳定性的优势。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116295911 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310342628.9 (22)申请日 2023.04.03 (71)申请人北京深谋科技有限