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本发明公开一种多效硅料清洗剂,按质量百分比含量计,各原料组分包括:61.1%的纯水、13%的柠檬酸、7.5%的氟化氢铵、12.5%的氟硼酸、5.8%的甲基磺酸、0.05%的OP‑10表面活性剂和0.05%的5040分散剂。一种多效硅料清洗剂的制备方法,包括以下步骤:S1:在清洗容器中按质量百分比依次加入纯水、柠檬酸和氟化氢铵,搅拌均匀得到第一混合液体;S2:在第一混合液体中按质量百分比加入氟硼酸,搅拌均匀得到第二混合液体;S3:在第二混合液体中按质量百分比依次加入甲基磺酸、OP‑10表面活性剂和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116286206 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310349792.2 C11D 3/60 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.0
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