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本公开提供一种晶圆盒定位传输装置及方法，该装置包括：传送平台，沿着第一水平方向移动以传送晶圆盒；定位组件，设置于传送平台的相对的两侧中至少一侧，包括：沿第一水平方向间隔开设置的两个伸缩件，伸缩件可沿第二水平方向往复伸缩；两个定位块，每个伸缩件的第一端分别设置有一个定位块；至少两个感应器，每个定位块上设置至少一个感应器，感应器监测定位块与承载面上的晶圆盒的相对位置并产生相应感应信号；控制器，用于根据感应器所反馈的感应信号，判断晶圆盒的位置信息，以控制伸缩件及传送平台的工作状态，使晶圆盒处于预定位置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116313965 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310478067.5
(22)申请日 2023.04.28
(71)申请人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司
地
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