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气液分离装置及化学抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-06-26 发布于四川
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气液分离装置及化学抛光装置.pdf

    本实用新型涉及一种气液分离装置及化学抛光装置，气液分离装置包括：输入管道，输入管道的输入口连通容纳腔；排气管道，排气管道的输入口连通输入管道的输出口；及缓冲管道，缓冲管道的输入口连通输入管道的输出口；其中，缓冲管道靠近输入管道的一侧设有第一拐角，缓冲管道远离输入管道的一侧设有第二拐角；在第一方向上，第一拐角位于第二拐角的下游；第一方向为重力方向。上述气液分离装置，通过设置缓冲管道，且缓冲管道的输入口连通输入管的输出口，缓冲管道能够为待分离气液中的液体提供一个较大的缓冲空间，以避免在液体流量较大时

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219231728 U (45)授权公告日 2023.06.23 (21)申请号 202223181553.0 (22)申请日 2022.11.29 (73)专利权人 上海积塔半导体有限公司 地址

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