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一种小型化三维测振传感器系统.pdfVIP

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  • 2023-06-26 发布于四川
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一种小型化三维测振传感器系统.pdf

    本发明公开了一种小型化三维测振传感器系统，本发明的小型化三维测振传感器系统利用一个光芯片测量模块集成三个激光收发单元，三个激光收发单元用于发射三束相互平行且不同波长的测量激光，以避免三束测量激光的相互干扰，可以使激光收发单元之间更加紧凑，实现传感器系统的小型化。同时，利用光路偏折单元将三束相互平行的测量激光偏折至被测物体上同一点，从而改变激光光轴，使三束测量激光均与中心轴呈同一角度，从而实现了对定点距离的被测振动物体的三维振动测量，进一步实现了传感器系统的小型化。本发明的小型化三维测振传感器系统

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116295787 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310367163.2 (22)申请日 2023.04.07 (71)申请人 挚感（苏州）光子科技有限公司 地址

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