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本发明属于微纳器件制造技术领域，公开了一种纳米电镀超快激光强化及原位在线监测装置，包括工控台、超快激光器、光谱仪、激光探头、全息照相机、脉冲发生器、质谱仪和光路系统；激光探头、全息照相机和脉冲发生器均设置在微纳器件阴极靶的附近区域内；工控机分别与超快激光器、光谱仪、脉冲发生器、质谱仪和脉冲电镀电源连接；全息照相机与光谱仪连接。本发明能够对激光电镀进行原位在线监测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113604857 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110798790.2 C22F 3/00 (2006.01)
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