原创力文档- 1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种晶圆切割刀片成品检测装置及其检测方法，包括定位座，定位座顶部一侧的中间位置固定设有固定杆，固定杆的外壁穿插设有检测设备，定位座顶部的一侧开设有滑槽，滑槽的一端滑动设有支撑架，支撑架的顶端滑动设有定位架，支撑架顶部的一端固定设有第一定位块，本发明通过固定在固定架一侧中间位置的第三电机的输出端带动定位轴和晶圆切割刀片开始转动，固定在定位架一侧的第一电机的输出端带动定位框转动，便于检测晶圆切割刀片的多个角度，使得晶圆切割刀片的检测更加便捷，避免因为需要工作人员摆弄角度导致引起的损伤，降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113566902 B
(45)授权公告日 2021.11.26
(21)申请号 202111126745.9 G01D 11/00 (2006.01)
文档评论（0）