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本发明公开了一种集成温度传感器的一维电磁扫描微镜，包括：微镜单元、驱动线圈和温度传感器，所述驱动线圈和所述温度传感器均设于所述微镜单元上；所述驱动线圈用于驱动所述微镜单元振动，所述温度传感器用于监测所述微镜单元的温度；所述微镜单元包括反射镜、驱动框架和固定梁；所述驱动框架上设有容置腔以及环绕所述容置腔的驱动区域，所述反射镜设在所述容置腔内，且所述反射镜通过所述固定梁与所述驱动框架连接；所述驱动框架两侧固定有一对同轴线的转动轴，所述转动轴轴线将所述驱动区域和所述反射镜分为上下两部分；本发明能够将温
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116300054 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310360436.0
(22)申请日 2023.04.06
(71)申请人 中科融合感知智能研究院（苏州工
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