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本公开的实施例提供了一种HF‑HCL混合药液的浓度监控方法、装置、设备以及存储介质，应用于半导体技术领域。该方法包括：获取晶圆进入HF‑HCL混合药液之前的第一膜厚度，以及晶圆离开HF‑HCL混合药液之后的第二膜厚度；根据晶圆的第一膜厚度和第二膜厚度，计算晶圆的膜厚度减少值；根据晶圆的膜厚度减少值，确定HF‑HCL混合药液的浓度是否发生异常。以此方式，可以根据晶圆被HF‑HCL混合药液清洗前后的膜厚度计算膜厚度减少值，并根据膜厚度减少值实现对HF‑HCL混合药液的浓度的有效监控，进而及时地发现H
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116313927 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310392725.9
(22)申请日 2023.04.13
(71)申请人 上海晶盟硅材料有限公司
地址 2
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