1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种用于晶圆清洗的小孔流道工艺卡盘.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.62千字
  • 约 11页
  • 2023-06-26 发布于四川
  • 举报

一种用于晶圆清洗的小孔流道工艺卡盘.pdf

    本实用新型提供一种用于晶圆清洗的小孔流道工艺卡盘，包括：卡盘主体，分布设置多个卡爪，卡爪对晶圆限位；主盘固定在卡盘主体的上端面，主盘具有进气端；后盖覆盖主盘，与主盘之间的间隙形成气流走道，气流走道连通进气端的进气孔；后盖的边缘开设若干气流通孔，气流通孔连通气流走道；外部输入的气流从进气端、气流走道扩散至气流通孔，喷向晶圆的背面，使晶圆悬浮在卡盘的上方。卡盘利用伯努利原理，使通过特定气流通孔的气流均匀吹在晶圆背面，形成的伯努力和晶圆的重力与气体的吹力平衡，使晶圆平衡稳定地悬浮在卡盘上方，避免晶圆与

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219246658 U (45)授权公告日 2023.06.23 (21)申请号 202223580063.8 (22)申请日 2022.12.31 (73)专利权人 至微半导体（上海）有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >