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光学深色炫彩薄膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-26 发布于四川
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光学深色炫彩薄膜及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种光学深色炫彩薄膜及其制备方法。其中，制备方法包括以下步骤：S1、充入工作气体Ar，开启中频镀膜电源电流沉积纯Ti层；S2、充入反应气体N2，调整气压为0.2~0.3Pa，同时开启Ti靶和Si靶，沉积TiSiN层，沉积时间为18~23分钟；S3、以所述TiSiN层为底色膜层，充入工作气体Ar和反应气体O2，交替覆盖沉积TiO2层和SiO2层，得到光学深色炫彩薄膜。所述光学深色炫彩薄膜包括在基底材料表面由内至外沉积的多层膜，其中，第一层为Ti层，第二层为TiSiN层。本发明提供的制备方

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288215 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310374668.1 C23C 14/08 (2006.01) (22)申请日 20

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