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本发明公开了一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法,包括以下步骤:制备包裹有金属工件待抛光结构面的固体电解质;对金属工件进行抛光电解;将带有微细结构的金属工件从固体电解质中取出。本发明利用了固体电解质在一定条件下可以转变为液态或者通过溶液固化的方式进行制备的性质可进行微细结构的自适应填充以及抛光电解液的三维结构形状约束,这一重要转变是实现金属微细结构高精度抛光的关键,因为电解液的形状受到约束,金属材料的去除只会发生在金属和固体电解质的界面,随着加工的进行,发生金属表面与固体电解质的分离,金属的电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113584568 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 202110891681.5 C25F 3/22 (2006.01)
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