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本发明涉及一种交流组合等离子体制备纳米材料的方法，在负压条件下通过高频交流旋转滑动电弧初步电离缓冲气体，进而激发单相或三相工频放电，产生稳定的大功率电弧，原料气体通入后发生裂解反应，在下行流化床中成核、生长得到纳米材料。本发明设计合理，在负压条件下通过交流组合等离子体制备炭黑颗粒，石墨烯片层、氮掺杂石墨烯片层、氮化硅颗粒，产物分离回收便捷，工艺流程简单，无需催化剂及衬底，成本低廉，绿色环保，适用于连续大规模制备纳米材料。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116281975 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310314794.8
(22)申请日 2023.03.29
(71)申请人 福州大学
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