一种晶圆表面金属离子采集装置及方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.52万字
约 17页
2023-06-26 发布于四川
举报
版权申诉

一种晶圆表面金属离子采集装置及方法.pdf

1、本文档共17页，其中可免费阅读16页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明实施例公开了一种晶圆表面金属离子采集装置及方法；所述晶圆表面金属离子采集装置包括：底座；设置于所述底座上的承载装置，所述承载装置上设置有吸附晶圆的第一吸盘和第二吸盘，且所述第二吸盘能够翻转；并且所述第一吸盘和所述第二吸盘均为气体悬浮非接触式的气腔真空吸盘；用于使扫描液在所述晶圆表面滚动，以收集所述晶圆表面金属离子的气相分解采集器；其中，所述采集器上设置有至少一个扫描喷嘴用于在所述晶圆表面喷注扫描液；用于控制所述采集器移动和/或转动的运动机构。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113567534 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202111123683.6 H01L 21/683 (2006.01)