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低温泵(10)具备：低温泵真空容器(12)；超低温制冷机(14)；第1凸缘(28)，固定于低温泵真空容器(12)；第2凸缘(30)，固定于超低温制冷机(14)且与第1凸缘(28)气密地连接；及环状层叠防振体(32)，从第1凸缘(28)朝向第2凸缘(30)依次配置第1环状防振材料(38)、第1环状支承部件(40)、中间环状防振材料(42)、第2环状支承部件(44)及第2环状防振材料(46)而成。第2环状支承部件(44)固定于第1凸缘(28)且第1环状支承部件(40)固定于第2凸缘(30)，使得第1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113646532 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202080024278.6 (73)专利权人 住友重机械工业株式会社
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