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本发明涉及真空镀膜室温度调控设备,包括真空镀膜腔室和温度调节组件;温度调节组件包括制冷水箱、半导体制冷片、散热风扇和散热水箱;散热水箱包括第一横向箱体、第二横向箱体以及纵向箱体;散热风扇安装在第一横向箱体和第二横向箱体之间,且散热风扇的出风面朝向第二横向箱体,第二横向箱体上贯穿成型有多个纵向的通风孔;第一横向箱体和第二横向箱体均一端连接纵向箱体,另一端连接制冷水箱的纵向边,且第一横向箱体和第二横向箱体与制冷水箱分别通过第一电磁阀和第二电磁阀控制通断;应用本发明的特殊水箱组合结构,水冷温度可控性好
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113604787 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110830875.4 (56)对比文件
(22)申请日 2021.07.22
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