一种阶梯栅极、栅极结构、阶梯栅极参数确定方法及系统.pdfVIP

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2023-06-27 发布于四川
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一种阶梯栅极、栅极结构、阶梯栅极参数确定方法及系统.pdf

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本发明涉及一种阶梯栅极、栅极结构、阶梯栅极参数确定方法及系统，将栅极设计成阶梯状结构，阶梯栅极沿径向划分为中心区、过渡区和边缘区，中心区、过渡区和边缘区的厚度依次减小，中心区、过渡区和边缘区到另一个栅极的间距依次增大，实现栅极沿径向的间距变化，不同区域的栅极间距不同，使得不同径向位置的等离子体鞘有合适强度的加速电场，能够保证在不同位置离子束都能实现良好的聚焦。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113606103 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 202110871762.9 (56)对比文件