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一种提高单晶金刚石质量的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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一种提高单晶金刚石质量的方法.pdf

    一种提高单晶金刚石质量的方法，步骤包括：在生长之前，获取生长炉内的漏气率，并判断漏气率的实测值是否在标准设定区间内，以确定在生长过程中是否通入氮氢混合气体；当漏气率的实测值大于最大标准值时，不通入氮氢混合气体直至生长结束；当漏气率的实测值小于最大标准值时，在生长开始时向生长炉内通入氮氢混合气体，直至生长结束；且随着漏气率的实测值在小于漏气率的最大标准值的区间范围内的降低，则通入氮氢混合气体的含量逐渐增加。本发明可根据不同的漏气率来匹配相应的氮氢混合气体的通入量，并可获得单晶晶体生长机制为阶梯式的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113652746 B (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202111224634.1 C30B 25/00 (2006.01) (22)申请日

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