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- 2023-06-28 发布于四川
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本发明公开了一种电解铜杂质在线检测方法。为了克服现有技术无法检测不同位置电解液中杂质元素的含量的问题;本发明包括以下步骤:S1:以初始频率采集处于电解槽中不同位置的电解液;S2:通过检测装置分别检测电解液中元素的含量,与预设的电解液元素含量表比较判断;根据判断结果更换电解液或继续电解铜工艺;S3:调用历史数据,预测电解液中杂质元素的变化,调整不同位置的电解液采集频率,返回步骤S1以调整后的采集频率对电解液采样;S4:电解铜工艺完成后,将数据加入到历史数据库中。对不同位置的电解液采用不同的采集频率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113668018 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202110854298.2 审查员 赵春霖
(22)申请日 2021.07.27
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