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本发明涉及一种可控转印设备和可控转印方法，所述可控转印设备包括转印机械手、光响应聚合物的薄膜、加热模块以及紫外照射模块，其中，光响应聚合物含有香豆素基团，薄膜设置于转印机械手上，转印机械手的弹性模量小于薄膜的弹性模量，薄膜用于拾取和释放目标转印物；加热模块设置于转印机械手上，用于对转印机械手进行加热；紫外照射模块能够发射紫外光，用于照射薄膜，使薄膜进行光二聚反应或者光解交联反应。采用本发明的可控转印设备进行转印时，整个过程不依赖于目标转印物与目标衬底的粘附力及转印机械手的撕起速度，不会对目标转印
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116330826 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202111602975.8
(22)申请日 2021.12.24
(71)申请人 浙江清华柔性电子技术研究院
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