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- 2023-06-28 发布于四川
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一种表面处理方法和装置包括:操作准连续波光纤激光器,并对激光光束进行预扫描成形,以使瞬时斑点光束具有预定的几何尺寸、强度分布和功率;以最优角速度和角范围操作扫描器,以将预扫描光束分成朝着正被加工的表面偏转的多个子光束;引导子光束通过后扫描光学组件,以提供具有预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束,选择所述预定几何尺寸、功率、以及角速度和范围的斑点光束以使瞬时斑点光束在扫描方向上以期望扫描速度拖曳期望长度,这允许将处理过的表面曝光预定的曝光持续时间,并具有预定的注量分布,从而为处理过的表面
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111133639 A
(43)申请公布日
2020.05.08
(21)申请号 201880060
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