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防止刻蚀工艺导致密封圈失效的电极装置及调控方法.pdfVIP

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  • 2023-06-28 发布于四川
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防止刻蚀工艺导致密封圈失效的电极装置及调控方法.pdf

    本发明属于等离子刻蚀技术领域，具体涉及一种防止刻蚀工艺导致密封圈失效的电极装置及调控方法，装置包括电极本体，电极本体包括从上到下依次设置的加热台和水冷板，加热台与水冷板之间间距为h，h内安装有导热环，导热环呈环形且具有内环和外环，加热台上与导热环内环同轴位置开设导向通道；在导热环内环处安装内密封圈，内密封圈将导向通道与间距之间进行密封；在导热环外环处安装外密封圈，外密封圈将导热环与真空反应腔室之间进行密封；内密封圈与外密封圈之间的环形空间内为大气状态，外密封圈圈外空间内为真空状态。方法包括高温和

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344303 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202111597307.0 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 江苏鲁汶仪器有限

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