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本发明提供一种运动装置及测量设备，涉及集成电路技术领域。该运动装置包括基座、X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构，其中，X向运动机构包括X向滑动座和X向压电陶瓷电机，X向压电陶瓷电机连接于基座与X向滑动座之间；Y向运动机构包括Y向滑动座和Y向压电陶瓷电机，Y向压电陶瓷电机连接于X向滑动座与Y向滑动座之间；Z向运动机构包括Z向滑动座和Z向压电陶瓷电机，Z向压电陶瓷电机连接于Y向滑动座与Z向滑动座之间。该测量设备包括测量组件和上述运动装置，测量组件安装于运动装置的Z向滑动座。该运动装置的运动精度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116338403 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202111604555.3 G01B 11/00 (2006.01)
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