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本发明提出一种运动平台的抖动检测方法及检测系统，以运动平台匀速运动区域作为抖动检测区域，将抖动检测区域划分为多个子区域，每个子区域划分为多个抖动检测区域，通过稳定的时钟脉冲检测每个抖动检测区域中读数头读取光栅尺位置信息对应的实际时钟脉冲信息，依据每个抖动检测区域的实际时钟脉冲信息获得抖动检测区域的第一检测值，依据抖动检测区域的第一检测值获取对应子区域中的第二检测值，对子区域的第二检测值进行整合，获得抖动检测区域的第三检测值，所述第三检测值与抖动阈值进行比较，判断运动平台是否抖动。实时快速获取运动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116337119 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202211210134.7
(22)申请日 2022.09.30
(71)申请人 源纳微光学科技（苏州）有限公司
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