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本发明公开了一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法，通过在电极板中嵌入永磁铁组，永磁铁组的充磁面与电极板的平面相互垂直，所述永磁铁组的充磁面与所述电极板的平面相互垂直,以使通电状态下不同所述电极板间产生的磁场与所述电极板上产生的交变电场相互垂直，在交变电场的作用下，将反应气体离化为等离子体，通过磁场的合理布置，在磁场的作用下，等离子体的浓度和化学活性增加，从而提高对孔内残胶的咬蚀速度和均匀性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116347774 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202310406231.1
(22)申请日 2023.04.14
(71)申请人 广东鼎泰机器人科技有限公司
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