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- 2023-06-28 发布于四川
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本公开提供一种脆性材料自然裂片装置及其方法，脆性材料裂片装置包括吸附台、激光系统、光束聚焦系统以及三维位移系统，将大能量脉冲激光聚焦在脆性材料内部，当焦点处功率密度达到一定值时，材料被气化形成蒸汽，蒸汽的扩展使得材料实现自然裂片。本公开主要特点是脉冲激光在材料内焦点位置处形成的蒸汽不断向周围扩展，在扫描完成后整个晶圆出现翘曲，即可实现材料的自然裂片。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116329781 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202111593358.6 H01L 21/268 (2006.01)
(22)申请日 2021.12
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