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本公开涉及测量模型的控制方法及控制系统,其中,测量模型包括训练模型和预测模型,其中,经训练的训练模型用于更新预测模型,预测模型用于对一个或多个机台所制造产品进行预测,所述控制方法包括:检测预测模型针对一个或多个机台所制造产品的应用预测误差度、以及预测模型的运行异常度;以及响应于满足以下至少一个条件,发出警报和/或至少部分地改变预测模型的工作状态:应用预测误差度大于参考应用预测误差度,以及运行异常度大于参考运行异常度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113689040 A
(43)申请公布日 2021.11.23
(21)申请号 202110981298.9
(22)申请日 2021.08.25
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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