图像传感器和用于形成图像传感器的方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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图像传感器和用于形成图像传感器的方法.pdf

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本发明的各种实施例涉及用于形成图像传感器的方法，其中，器件层覆盖在衬底上并且具有不同于衬底的半导体材料，并且其中，器件层具有高晶体质量。该方法的一些实施例包括：在衬底上外延生长器件层；图案化器件层以形成将器件层分为与像素相对应的台面结构的沟槽；形成填充沟槽并且分离台面结构的像素间介电层；以及在台面结构中形成光检测器。该方法的其他实施例包括：在衬底上方沉积像素间介电层；图案化像素间介电层以形成与像素相对应的腔；在腔中外延生长台面结构；以及在台面结构中形成光检测器。根据本申请的其他实施例，还提供了图

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725241 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202110184179.0 (22)申请日 2021.02.08 (30)优先权数据 16/988,95