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- 2023-07-01 发布于四川
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本发明公开了一种三元共晶靶材及其制备方法，包括A组分、B组分和C组分粉末，A组分含量为30～50mol％，B组分含量为10～50mol％，C组分含量为20～40mol％，所述A组分为B4C粉末，B组分为TiB2、ZrB2、HfB2、TaB2或NbB2粉末，C组分为SiC粉末。本发明制备的共晶靶材具有更高的致密度，含有更多的元素种类，相分散更均匀，单个靶材就可以引入四种元素，能够减少多元涂层制备时所需工作靶位的数量，降低了镀膜的功耗以及镀膜装备的成本；本发明三元共晶靶材具有良好的导电导热性，可作为
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113718216 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202110955085.9 (51)Int.Cl.
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