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一种用于激励能级电容分析法的缺陷态空间位置测定方法,属于半导体材料测试领域。将DLCP电压为V条件下,能级深度浅于E的陷阱态的态密度记为N(E,V);将DLCP电压为V条件下(对应特定空间位置),单位位置、能量空间中的态密度记为g(E,V)。计算不同能量、空间位置的(xe(ETi,Vk),N(ETi,Vk));最后,根据公式(1),可计算单位位置、能量空间的陷阱态的态密度g(ETi,Vk),即因此可整理成(xe(ETi,Vk),g(ETi,Vk))的数据表格,其中xe(ETi,Vk)即为所求解的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113702451 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202110957687.8
(22)申请日 2021.08.19
(71)申请人 北京工业大学
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