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- 2023-07-01 发布于四川
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本发明公开了一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统。本方法为：1)将芯片模块固定在三维影像测量仪上；2)在芯片模块上确定出芯片的安装位置；3)在芯片模块的陶瓷边框上选择N个点，芯片上表面选择M个点；4)导出各所选点的三维坐标到数据处理单元，生成陶瓷边框的拟合面；5)以拟合面作为基准面，计算出芯片上每一所选点相对于基准面的距离；6)如果芯片上各所选点相对于该基准面的距离均为正值或负值，则找出一距离绝对值最小值，将芯片上各所选点对应的距离与该最小值的差值，作为对应点需要调节的幅度值；否则找出距
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113720276 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 202110980095.8 (51)Int.Cl.
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