原创力文档- 2
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- 2023-07-02 发布于四川
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试验装置(100)对形成有包括磁阻存储器或磁传感器在内的被试验器件(12)的被试验晶圆(10)进行试验。在台(130)上，在试验工序中载置被试验晶圆(10)。试验用探针卡(160)在试验工序中，能够对被试验晶圆(10)进行探测接触。晶圆连接HiFix(150)设置于试验用探针卡(160)与测试头(120)之间。磁场施加装置(140)设置于晶圆连接HiFix(150)，在试验工序中向被试验晶圆(10)施加磁场(BEX)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113748496 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202080031306.7 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理
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