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一种微机械超声换能器及成像设备.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种微机械超声换能器及成像设备.pdf

    本发明公开了一种微机械超声换能器(MUT)。MUT包括：基板；耦合至基板的第一电极；以及和耦合到基板并且与第一电极不共面的第二电极。第一电极关于第一轴线对称且关于垂直于第一轴线的第二轴线不对称，第一轴线沿第一电极具有最长尺寸的方向延伸，第二轴线穿过第一电极在第一轴线上的两端之间的中点。第一电极和第二电极在垂直方向上彼此分开。第一电极包括顶部电极，并且第二电极包括底部电极。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113729773 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111051912.8 A61B 8/08 (2006.01)

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