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本发明提供一种弱耦合谐振式加速度传感器，包括：敏感质量块及其支撑结构；谐振器系统，包括第一谐振器单元、第二谐振器单元和耦合结构；第一谐振器单元包括：多模态谐振器，第二谐振器单元包括：标准谐振器，多模态谐振器通过耦合结构与标准谐振器连接；差分微杠杆结构，差分微杠杆结构的输入端与敏感质量块连接，差分微杠杆结构的输出端与标准谐振器连接。本发明提供的弱耦合谐振式加速度传感器，通过设计弱耦合谐振式加速度传感器，在不改变MEMS弱耦合谐振式加速度传感器高灵敏度特性的情况下，有效补偿温度效应对其灵敏度带来的影
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113740560 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202110963378.1
(22)申请日 2021.08.20
(71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院
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