一种黑磷-二维电子气异质结忆阻器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种黑磷-二维电子气异质结忆阻器及其制备方法.pdf

本发明公开了一种黑磷‑二维电子气异质结忆阻器及其制备方法,该忆阻器从下至上依次为钛酸锶衬底、二维异质结、金属电极、保护层及导线,其制备方法主要包括以下步骤:机械剥离减薄黑磷、光刻、磁控溅射金电极、光刻、离子束轰击制备二维电子气、涂覆保护层、焊接导线,得到由黑磷作为P端、二维电子气作为N端的异质结忆阻器。由黑磷与钛酸锶衬底表面的二维电子气构成的二维异质结在其界面处具有铁电性,使其内电势可被外界施加的激发电压所调控,由该异质结构筑的忆阻器可通过控制外加电压调节电阻,且其电阻表现出非易失性的变化,在1

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725358 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111006746.X (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人 苏州科技大学 地址

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