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一种激光陶瓷与晶体的键合方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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一种激光陶瓷与晶体的键合方法.pdf

    本发明公开了一种激光陶瓷与晶体的键合方法，包括激光陶瓷的第一键合面和晶体的第二键合面经光学加工后，用去离子水和酒精多次清洗并烘干；将激光陶瓷和晶体置于等离子清洗机内，清洗并活化第一键合面和第二键合面；在惰性气体保护气氛或真空下将第一键合面紧密贴合第二键合面，对激光陶瓷和晶体进行光胶；将光胶后的激光陶瓷和晶体固定于夹具中，并随夹具一起置于真空加热炉中退火10‑60小时；将保温处理后的激光陶瓷和晶体冷却至室温，并从夹具中取出，完成激光陶瓷和晶体的键合。本发明能够在低温退火条件下实现不同热膨胀系数的激

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113735608 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111041159.4 (22)申请日 2021.09.07 (71)申请人 江苏师范大学 地址

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