一种大产能刻蚀设备.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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本发明公开了一种大产能刻蚀设备,包括产品上料、反应装置、产品下料和花篮,反应装置内上下方向分别设置有上反应槽和下反应槽,上反应槽和下反应槽上分别设置有上传动滚轮和下传动滚轮,反应装置内位于下反应槽下方设置有储液箱,反应装置左右侧面设置有反应液管道,反应液管道下端接在储液箱内,反应液管道上部分别与上反应槽和下反应槽连通,产品上料和产品下料上分别设置有前传输皮带和后传输皮带,前传输皮带的后端通过前活动中枢与两个前活动输送板前端连接,后传输皮带前端通过后活动中枢与两个后活动输送板后端连接。本发明的一种

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725321 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111079792.2 (22)申请日 2021.09.15 (71)申请人 南通苏民新能源科技有限公司

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