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透明样品的亚表面缺陷检测方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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透明样品的亚表面缺陷检测方法.pdf

    一种透明样品的亚表面缺陷检测方法及装置，方法包括：利用激光共聚焦方法确定所述透明样品亚表面缺陷大致位置；对所述亚表面缺陷的散射光形成的像进行过焦扫描，以得到散射光光场的纵向分布信息；根据所述纵向分布信息及所述大致位置确定所述亚表面缺陷的实际位置、尺寸及形态。该方法及装置利用激光共聚焦法获取最佳焦面信息的同时，获取纵向分布的离焦信息，保留了离焦数据，最大程度的提取亚表面缺陷特征，进一步提高缺陷检测精度和灵敏度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113720861 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111089806.9 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人 中国科学院微电子研究所

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