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本发明提供适配于无尘真空车间的微型电子巡检系统及其巡检设备,涉及无尘加工技术领域,包括车间主体和栓接固定在车间主体顶部的自走轨道,所述自走轨道的表面活动设置有空中检测模块,底部采用触点,可以实现充电、信号收发等电性连接,从而更便于电路的设计,采用底部检测模块和独立检测模块,可以检测的数据参数集中在独立检测模块上,主要集中在理化参数检测,移动的时候采用的是麦克纳姆轮,位置移动、转弯等方式都比较简单,同时相比较采用数据检测更加全面的稳定云台以及视觉摄像头、数据采集舱组装能耗更低,可以实现大区域、定轨
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113724413 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111008585.8
(22)申请日 2021.08.31
(71)申请人 深圳
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