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- 2023-07-02 发布于四川
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一种驻极体式微型电场传感器及方法、电场传感器系统及方法，该驻极体式微型电场传感器包括：振动薄膜，所述振动薄膜包括：导电薄膜以及驻极体薄膜，驻极体薄膜形成于所述导电薄膜的一侧表面；以及检测电极，与所述导电薄膜构成电容。所述振动薄膜在电场作用下产生静电力作用发生位移，引起导电薄膜与检测电极间的电容发生变化，导致振动薄膜与检测电极间的电压发生变化，通过测量电压变化或者电容变化可实现对待测电场或者电压的测量。本发明所述的电场传感器不需要额外引入驱动电压，具有功耗低，可实现交直流宽频带电场测量的优点，同时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113740621 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111052870.X
(22)申请日 2021.09.08
(71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院
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