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本发明公开了一种光学元件离子束抛光加工系统，解决现有三轴运动或五轴运动平台抛光设备操作复杂、制造昂贵的技术问题。本发明包括支撑底座，设于支撑底座上用于提供真空环境的真空室，设于真空室内的工作平台，分别设于工作平台上的支撑板和机器人底座，设于支撑板上用于夹取待抛光光学工件的光学工件夹具单元，设于机器人底座上的六轴关节机器人，以及设于六轴关节机器人末端关节为待抛光光学工件提供离子束的离子源。本发明结构简单、设计科学合理，使用方便，采用了六轴关节机器人为运动平台，可灵活用于各种类型光学元件表面的加工，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113752097 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202111041824.X
(22)申请日 2021.09.07
(71)申请人 电子
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