一种中频方波等离子体激发电源.pdfVIP

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2023-07-03 发布于四川
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一种中频方波等离子体激发电源.pdf

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本申请涉及特种电源技术领域，特别地涉及一种中频方波等离子体激发电源，包括：电压调整模块、应力吸收与预输出电路、逆变与输出模块；其中，所述电压调整模块的输入端与外界输入信号连接，所述电压调整模块、所述应力吸收与预输出电路、所述逆变与输出模块依次电性连接；输入信号通过电压调整模块输入调整电压，经由逆变与输出模块逆变为交流电，并由应力吸收与预输出电路前端的尖峰电压稳定下一周期的逆变器输入电压。本申请中，输入信号通过电压调整模块输入调整电压，经由逆变与输出模块逆变为交流电输出方波，同时应力吸收与预输出电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113765412 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202111115105.8 (22)申请日 2021.09.23 (71)申请人固赢科技（深圳）有限公司